質量流量控制器

產品簡介

       MFC-100 質量流量控制器主要用于對氣體的質量流量進行精密控制和測量， MFC-100 型質量流量控制器是基于業內*的微機電（MEMS）流量芯片技術，結合高速 采樣處理技術和數字補償算法，所開發的一款智能化、高精度可進行準確的質量流量控制的 氣體控制器產品，具有精度高、響應速度快、穩定性好等特點。產品支持數字型和 模擬型兩種，模擬型產品采用 0～5V 模擬信號輸入輸出，數字型產品采用 RS485 通訊。

產品特點 

? 精度高，響應快

? 長期穩定性，良好的重復性

? 溫度壓力影響小

? 兼容多種信號輸出方式

技術參數 

參數名稱 技術指標 

量程 （0~10,20,50,100，200，500） sccm （0~1,2,5,10,20,50） SLM 

閥控類型 常閉 

準確度 ≤±1% F.S. 

重復性 ＜0.5% 

工作壓差 （0.1~0.4）MPa 

溫漂 ＜0.05%F.S./℃ 

環境溫濕度 5~40℃,0~90RH% 

耐壓 1MPa 

輸入信號 （0~5）VDC，RS485 

輸出信號 （0~5）VDC，RS485 

氣路接口 G1/4 -1/4 (SLM)；G1/4 -1/8 (SCCM) 

供電電壓 DC24V 

功耗 ＜2.4w 

尺寸 長*寬*高：80mm*36mm*57mm 

產品應用

? 半導體集成電路工藝、特種材料 

? 化學工業、石油工業 

? 醫藥、環保和真空等領域 

? 分析檢測儀器行業